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(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)实用新型专利(10)授权公告号(45)授权公告日(21)申请号0.8(22)申请日2021.06.29(73)专利权人镇江哈工大高端装备研究院地址212000江苏省镇江市高新区南徐大道101号五洲创客中心三楼(72)发明人(74)专利代理机构南京智造力知识产权代理有限公司32382代理人(51)Int.Cl.B23K26/38(2014.01)B23K26/70(2014.01)(54)实用新型名称一种激光超精密切割工作台(57)摘要本实用新型涉及激光切割设备技术领域，尤其是一种激光超精密切割工作台，包括主机架、安装在主机架内部的电动输送带、安装在主机架内侧面位于电动输送带上方的激光切割机、电动升降机和电动推杆。本实用新型的一种激光超精密切割工作台通过电动升降机带动上置升降平台和下置升降平台在主机架内部升降，从而将激光切割设备直接安装在输送流水线平台内部，在材料输送过程中直接对其进行导料抬离进行切割，然后将切割完成的材料从而导入电动输送带表面，使其切割过程直接在主机架内部完成，加工效率大大提升；在上置升降平台上表面活动装配有由翻转式调节板联动控制的侧置导向边框，提升切割材料的平移导向性，使得切割精度更权利要求书1页说明书4页附图2页CN2154689131.一种激光超精密切割工作台，包括主机架(1)、安装在主机架(1)内部的电动输送带(2)、安装在主机架(1)内侧面位于电动输送带(2)上方的激光切割机(3)、电动升降机(4)和电动推杆(5)，其特征是：所述的主机架(1)内侧面位于电动输送带(2)上方固定连接有用于安装激光切割机(3)和电动升降机(4)的顶部安装平台(6)，所述的主机架(1)内侧面位于电动输送带(2)上方设置有由电动升降机(4)控制的上置升降平台(7)，所述的主机架(1)内侧面位于电动输送带(2)内部设置有与上置升降平台(7)联动的下置升降平台(8)，所述的上置升降平台(7)内部开设有内置翻转式调节板(9)的内部调节口，所述的翻转式调节板(9)外侧活动装配有被动输送机构和底部传动机构。2.根据权利要求1所述的一种激光超精密切割工作台，其特征是：所述的内部调节口内侧面左侧固定连接有用于安装翻转式调节板(9)的内部装配轴(10)，所述的翻转式调节板(9)通过左侧装配通孔套在内部装配轴(10)上与上置升降平台(7)活动连接，所述的翻转式调节板(9)两侧开设有用于安装被动输送机构的侧向装配槽(11)，所述的翻转式调节板(9)下端固J9九游会 - 真人游戏第一品牌定连接有用于安装底部传动机构的底部安装框架(12)。3.根据权利要求2所述的一种激光超精密切割工作台，其特征是：所述的被动输送机构包括通过连接转轴活动安装在侧向装配槽(11)内部的侧向驱动轮(13)、活动套接在侧向驱动轮(13)外侧的柔性输送带(14)和同轴固定在侧向驱动轮(13)外侧的第一皮带驱动轮(15)。4.根据权利要求3所述的一种激光超精密切割工作台，其特征是：所述的底部传动机构包括活动装配在底部安装框架(12)内部的底部传动辊筒(16)和同轴固定在底部传动辊筒(16)外侧的第二皮带驱动轮(17)，所述的第一皮带驱动轮(15)和第二皮带驱动轮(17)之间通过传动皮带(18)传动连接。5.根据权利要求4所述的一种激光超精密切割工作台，其特征是：所述的上置升降平台(7)上表面活动装配有侧置导向边框(19)。6.根据权利要求5所述的一种激光超精密切割工作台，其特征是：所述的侧置导向边框(19)活动连接端外侧面与翻转式调节板(9)活动装配端外侧面之间均开设有相互啮合的传动齿槽。CN215468913一种激光超精密切割工作台技术领域[0001]本实用新型涉及激光切割设备技术领域，尤其是一种激光超精密切割工作台。背景技术[0002]激光切割是利用高功率密度激光束照射来切割材料，通过使材料很快被加热至汽化温度，蒸发形成孔洞，随着光束对材料的移动，孔洞连续形成宽度很窄的切缝，从而完成对材料的切割。[0003]目前市面上的激光切割设备多为独立的设备，九游会 J9官方网站需要将切割材料从输送设备转移到切割机上才能进行切割，无法将切割设备直接与现有的输送设备相结合，严重影响切割材料的加工效率，对安装位置的要求也比较高，生产成本也比较高。实用新型内容[0004]本实用新型要解决的技术问题是：为了解决上述背景技术中存在的问题，提供一种改进的激光超精密切割工作台，解决目前市面上的激光切割设备多为独立的设备，无法将切割设备直接与现有的输送设备相结合，严重影响切割材料的加工效率，对安装位置的要求也比较高，生产成本也比较高的问题。[0005]本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：一种激光超精密切割工作台，包括主机架、安装在主机架内部的电动输送带、安装在主机架内侧面位于电动输送带上方的激光切割机、电动升降机和电动推杆，所述的主机架内侧面位于电动输送带上方固定连接有用于安装激光切割机和电动升降机的顶部安装平台，所述的主机架内侧面位于电动输送带上方设置有由电动升降机控制的上置升降平台，所述的主机架内侧面位于电动输送带内部设置有与上置升降平台联动的下置升降平台，所述的上置升降平台内部开设有内置翻转式调节板的内部调节口，所述的翻转式调节板外侧活动装配有被动输送机构和底部传动机构。[0006]所述的内部调节口内侧面左侧固定连接有用于安装翻转式调节板的内部装配轴，所述的翻转式调节板通过左侧装配通孔套在内部装配轴上与上置升降平台活动连接，所述的翻转式调节板两侧开设有用于安装被动输送机构的侧向装配槽，所述的翻转式调节板下端固定连接有用于安装底部传动机构的底部安装框架。[0007]所述的被动输送机构包括通过连接转轴活动安装在侧向装配槽内部的侧向驱动轮、活动套接在侧向驱动轮外侧的柔性输送带和同轴固定在侧向驱动轮外侧的第一皮带驱动轮。[0008]所述的底部传动机构包括活动装配在底部安装框架内部的底部传动辊筒和同轴固定在底部传动辊筒外侧的第二皮带驱动轮，所述的第一皮带驱动轮和第二皮带驱动轮之间通过传动皮带传动连接。[0009]所述的上置升降平台上表面活动装配有侧置导向边框。[0010]所述的侧置导向边框活动连接端外侧面与翻转式调节板活动装配端外侧面之间CN215468913均开设有相互啮合的传动齿槽。[0011]本实用新型的有益效果是：[0012](1)本实用新型的一种激光超精密切割工作台通过电动升降机带动上置升降平台和下置升降平台在主机架内部升降，从而将激光切割设备直接安装在输送流水线平台内部，在材料输送过程中直接对其进行导料抬离进行切割，然后将切割完成的材料从而导入电动输送带表面，使其切割过程直接在主机架内部完成，加工效率大大提升；[0013](2)利用电动升降机控制上置升降平台对电动输送带表面进行挤压，从而产生传动凹槽，使得电动输送带上表面与上置升降平台表面处于同一水平线，便于切割材料直接导入，操作十分简单方便； [0014] (3)上置升降平台和下置升降平台通过电动升降机带动在电动输送带上、下方升 降，在方便挤压控制的同时还可以在正常状态下提升整个电动输送带的底部支撑力； [0015] (4)上置升降平台上活动装配有相互传动的被动输送机构和底部传动机构，可以 通过电动输送带来获取动力，从而配合切割材料在上置升降平台表面平移，传动效率大大 提升； [0016] (5)在上置升降平台上表面活动装配有由翻转式调节板联动控制的侧置导向边 框，提升切割材料的平移导向性，使得切割精度更高。 附图说明 [0017] 下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。 [0018] 图1是本实用新型的结构示意图。 [0019] 图2是本实用新型中上置升降平台的结构示意图。 [0020] 图3是本实用新型中翻转式调节板翻转状态下的装配示意图。 具体实施方式 [0021] 现在结合附图对本实用新型作进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图， 仅以示意方式说明本实用新型的基本结构，因此其仅显示与本实用新型有关的构成。 [0022] 图1和图2所示的一种激光超精密切割工作台，包括主机架1、安装在主机架1内部 的电动输送带2、安装在主机架1内侧面位于电动输送带2上方的激光切割机3、电动升降机4 和电动推杆5，电动输送带2、激光切割机3、电动升降机4和电动推杆5采用直接采购获得，通 过外接电源供电和控制启闭，主机架1内侧面位于电动输送带2上方固定连接有用于安装激 光切割机3和电动升降机4的顶部安装平台6，主机架1内侧面位于电动输送带2上方设置有 由电动升降机4控制的上置升降平台7，主机架1内侧面位于电动输送带2内部设置有与上置 升降平台7联动的下置升降平台8，上置升降平台7内部开设有内置翻转式调节板9的内部调 节口，翻转式调节板9外侧活动装配有被动输送机构和底部传动机构。 [0023] 该设备用于传输和切割晶圆半导体基板，晶圆半导体基板在电动输送带2表面运 输，在电动输送带2上方设置红外传感器模块，当晶圆半导体基板接近，总控模块接收到红 外传感器模块的信号，带动电动升降机4启动，电动升降机4控制底部伸缩杆伸出，带个上置 升降平台7和下置升降平台8同步下降，然后底部传动机构下表面对电动输送带2表面进行 挤压，使的电动输送带2上表面发生形变，向下凹陷，当上置升降平台7上表面与电动输送带 CN215468913 2上表面位于同一平面时，电动升降机4关闭，然后电动输送带2带动晶圆半导体基板平移到被动输送机构上表面，被动输送机构和底部传动机构的动力由电动输送带2提供；当晶圆半 导体基板平移到右侧限位壁位置，则控制激光切割机3启动，激光切割机3切割一个周期结 束，控制电动推杆5启动，电动推杆5控制翻转式调节板9顺时针翻转，切割完成后的晶圆半 导体基板通过重力作用滑落到电动输送带2上表面，继续运输。 [0024] 当电动输送带2顺时针转动，底部传动机构逆时针转动，则被动输送机构则顺时J9九游会 - 真人游戏第一品牌针 转动。可以在主机架1内侧壁位于下置升降平台8下方安装用于控制电动升降机4上升复位 的底部限位开关，在主机架1内侧壁位于上置升降平台7上方安装有用于控制电动升降机4 上升关闭的顶部限位开关。 [0025] 如图3所示，内部调节口内侧面左侧固定连接有用于安装翻转式调节板9的内部装 配轴10，翻转式调节板9通过左侧装配通孔套在内部装配轴10上与上置升降平台7活动连 接，翻转式调节板9两侧开设有用于安装被动输送机构的侧向装配槽11，翻转式调节板9下 端固定连接有用于安装底部传动机构的底部安装框架12。 [0026] 被动输送机构包括通过连接转轴活动安装在侧向装配槽11内部的侧向驱动轮13、 活动套接在侧向驱动轮13外侧的柔性输送带14和同轴固定在侧向驱动轮13外侧的第一皮 带驱动轮15。 [0027] 底部传动机构包括活动装配在底部安装框架12内部的底部传动辊筒16和同轴固 定在底部传动辊筒16外侧的第二皮带驱动轮17，第一皮带驱动轮15和第二皮带驱动轮17之 间通过传动皮带18传动连接。 [0028] 上置升降平台7上表面活动装配有侧置导向边框19。 [0029] 进一步地，为了侧置导向边框19活动连接端外侧面与翻转式调节板9活动装配端 外侧面之间均开设有相互啮合的传动齿槽。 [0030] 还可以在主机架1内壁上安装侧向卸料板，当侧置导向边框19逆时针翻转时，带动 内部的切割余料向左下滑落到侧向卸料板上。 [0031] 本实用新型的一种激光超精密切割工作台通过电动升降机4带动上置升降平台7 和下置升降平台8在主机架1内部升降，从而将激光切割设备直接安装在输送流水线平台内 部，在材料输送过程中直接对其进行导料抬离进行切割，九游会 J9官方网站然后将切割完成的材料从而导入 电动输送带2表面，使其切割过程直接在主机架1内部完成，加工效率大大提升；利用电动升 降机4控制上置升降平台7对电动输送带2表面进行挤压，从而产生传动凹槽，使得电动输送 带2上表面与上置升降平台7表面处于同一水平线，便于切割材料直接导入，操作十分简单
