发表时间：2024-03-18 12:51:03 │ 点击数：
种 新 型 热 加 工 工 艺 ， 般 用 作 微 细 加 工 和 加 工 精 一
度 要 求 很 高 的 加 工 。 激 光 器 是 各 种 脉 冲 或 调 Ｑ 固 其 体 激 光 器 ， 续 Ｎｄ： 连 ＹＡＧ 激 光 器 和 小 功 率 连 续 Ｃ Ｏ
激 光 器 ． 冲 激 光 器 的 聚 焦 光 斑九游会 J9官方网站 很 小 ， 件 加 热 范 围 脉 工
【 要 】介 绍 了激 光和 激 光精 密加 工 的特 点 ， 摘 以及 几 种 激 光 精 密 加 工 技 术 在 工 业 生 产 中 的 应 用
情况， 并指 出 了激 光精 密加 工技 术在 工业 生 产 中的发展 趋 势 。
Ｋ ｅｙｗｏｒ ｌ ｓ ｒ，ａ ｅ ｏ ｅ ｓ， ｅ ｉｉ ｎ ｐｒ ｅ ｓ ｄｓ ａ ｅ ｌ ｓ ｒ ｐｒ ｃ ｓ ｐｒ ｃｓ ｏ ｏｃ ｓ
放 大 器 等 以及 石 英 压 电设 备 （ 括 振 荡 器 、 波 器 ） 包 滤 的 功 能 调 节 ， 导 体 集 成 电 路 的 微 调 ， 消 除 了 影 响 半 他 多 种 集 成 电 路 精 度 的 种 种 限 制 。 由 于 激 光 光 束 能 精
确 地 定 向 、 位 在 最 小 尺 寸 区 域 内 ， 以 规 定 的 形 式 定 并
激 光 微 调 广 泛 应 用 于 厚 、 膜 元 件 和 电 路 的 参 薄 数 微 调 ， 括 电 阻 器 、 容 器 、 英 谐 振 腔 、 片 滤 波 包 电 石 单 器 的 参 数 调 谐 ，昆合 集 成 电 路 放 大 器 、 压 器 、 流 ｝ 分 稳
１ ．激 光 束 的 激 光 焦 点 光 斑 小 ， 率 密 度 高 ， 功 能 加 工 一 些 高 熔 点 、 强 度 的 合 金 材 料 ， 能 加 工 如 陶 高 也
所 要 求 的 误 差 范 围 ． 厚 、 电 阻 和 片 状 电 容 。 用 激 如 薄 光 对 电 阻 、 容 进 行 精 密 微 调 ， 工 时 对 邻 近 的 元 件 电 加 热 影 响 极 小 ， 产 生 污 染 ， 于 计 算 机 控 制 ， 有 速 不 易 具
激 光 精 密 加 工 是 利 用 高 强 度 激 光 束 作 为 热 源 的
１ ．激 光 微 调 激 光 微 调 是 利 用 激 光 可 聚 焦 成 很 小 的 光斑 ， 能
激 光 加 工 是 利 用 高 辐 射 强 度 的 激 光 束 ， 过 光 经 学 系 统 聚 焦 后 ， 激 光 束 的 功 率 密 度 为 １ １ 其 ０～ ０
ｗ ／ ｍ ｃ ，加 工 工 件 置 于 激 光 焦 点 附 近 进 行 加 热 ， 是
激 光 是 辐 射 的 受 激 发 射 光 发 大 的 简 称 ， 于 其 由
６ ．激 光 可 以 透 过 玻 璃 加 工 处 于 真 空 容 器 内 的 工件 及 处 于 复 杂结 构 内部位 置 的工件 。
独 有 的 特 性 ： 亮 度 、 方 向 性 、 单 色 性 、 相 干 高 高 高 高
结 合 小 的 热 作 用 区 ， 对 薄 膜 元 件 进 行 精 密 单 件 微 可 调 。 因 加 工 中 没 有 中 间 （ 学九游会 J9官方网站 ） 程 并 可 在 大 气 中 加 化 过 工 ， 以可 实 时检 验 结 果 ， 实现 激 光 加工 过 程 的 自 所 并 动 化 ， 有 精度 高 、 艺 简 便 和 高效 的 特点 。 具 工 ２ ．激 光 划 片 用 激 光 作 为 切 割 划 片 工 具 ． 是 利 用 材 料 气 化 也
瓷 、 刚 石 、 璃 之 类 非 金 属 脆 硬 材 料 以 及 其 他 的 一 金 玻 些 常 规 工艺 难 以加 工 的材 料 。 ２ ．激 光 热 加 工 是 无 接 触 加 工 ， 光 束 能 量 可 控 激
器 、 字 模 拟 与 模 拟 数 字 交 换 器 、 频 振 荡 器 、 算 数 高 运
种 热 加 工 。 加 工 过 程 中 激 光 束 与 金 属 表 面 相 互 作
量 集 中 ， 选 择 地 气 化 部 分 材 料 来 制 造 微 电 子 元 件 有
的 一 种 方 法 ，目前 制 造 电 阻 、 容 的 方 法 往 往 达 不 到 电
用 ， 生 相 变 、 化 、 化 、 波 和 骇 波 冲 击 等 各 种 产 熔 气 激
Ｌａ ｅ ｅ ｉｉ ｏ ｅ ｓ Ｔｅ ｈｎｏ ｏｇ ｎｄ Ｉ ｐｐ ｉａ ｉ ｎｓ ｓ ｒ Ｐｒ ｃ ｓｏｎ Ｐｒ ｃ ｓ ｃ ｌ ｙ ａ ｔＳ Ａ ｌｃ ｔｏ
华 中科 技 大 学 光 电子 系 （ ３ ０ ４ 陈 章 ４ ０７ ）
性， 自诞 生 以 来 ， 工 业 加 工 中 的 应 用 十 分 广 泛 ， 在 深 入 到 生 产 活 动 的 各 个 领 域 ， 为 未 来 制 造 系 统 共 同 成
激 光 精 密 加 工 技 术 已 成 功 地 应 用 于 各 种 工 业 生 产 中 ， 激 光 微 调 、 光 划 片 、 光 精 密 切 割 打 孑 及 如 激 激 Ｌ 激 光 精 密 焊 接 等 ， 目前 加 工 方 法 中 最 先 进 或 不 可 是 替 代 的加 工 手段 。
度 快 、 率 高 、 连 续 监 控 等 优 点 ， 常 规 微 调 方 法 效 可 与
相 比 ， 具 有 精 度 高 、 现 性 好 和 阻 值 不 随 时 间 变 化 还 在
小 ， 求 加工 精 度 和定 位 精度 高 而且 热 影 响 区小 。 要 它
与 电 子 束 、 离 子 束 和 一 般 的 机 械 加 工 相 比较 ， 有 等 具 许 多 特点 ：
