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高精度光学测厚仪

发表时间:2024-02-22 18:04:36 │ 点击数: 

  Lumetrics厚度测量系统的测量原理是采用了短相干光源的迈克尔逊干涉仪。如图(1)、(2)Light Source(短相干光源)发出短相干光束,经Beamsplitter分束成两束光,这两束光通过准直仪聚焦到Measurementarm(测量臂)和Referencearm(参考臂)上,在测量臂段,光束经待测物前后两表面反射产生两束反射光;在参考臂段,光束被delay line(延迟线路)中的扫描参考镜反射。各反射光束经光纤返回到Beamsplitter中,此时扫描反射镜反射的光束分别与R1和R2两束光发生干涉产生两干涉信号经探测器(光电二级管)转换为电信号再由显示仪显示。参考镜位置可以精确移动,当干涉仪的测量臂与参考臂光程相等时,才能够发生干涉。这样通过监控参考镜的移动,就可以测量被测镜的位置。

  Lumetrics产品被广泛应用于各行各业,Lumetrics既可以提供独立的测量头,也可以组合成各类测量设备,下面是一些实例:

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高精度光学测厚仪(图1)

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  此外,Lumetrics产品还被集成在各种设备中,广泛应用在各工业领域,下图是一些实例:

高精度光学测厚仪(图2)

高精度光学测厚仪(图3)

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  光学检测产品:应力双折射、折射率、弱吸收、反射率、散射等测量系统/剪切干涉仪/非接触式测厚仪/测角仪/可调相位延迟波片等;

  显微系统所需的XYZ电动载物台、波片进片机、高速相机ICCD、像增强器300ps门控时间、FLIM、高精度脉冲延时器等。

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