发表时间：2024-01-22 12:03:49 │ 点击数：
和激光惰性气体法对光栅和分划板进行了清洗。实 验结果表明，在被清洗光栅和分划板的表面污染层 相同的情况下，激光惰性气体法的清洗效果最好。 五、结论 综上所述，随着激光清洗技术得到不断地推 广，渐渐被人们认知，一定会在精密光学元件清洗 领域广泛应用，目前J9九游会登录入口首页已经成为传统清洗方法的补充 和延伸，必然会代替传统清洗方法。总之随着科学 技术的发展，针对精密光学元件清洗领域各种新技 术不断涌现，比如等离子体清洗技术。 （作者单位：长春工程技术学院） 参考文献 [1] 伍明红等 . 激光清洗技术及应用展望 [J]. 激光与红外 . 1998，28（2）：82-84 [2] 叶亚云 . 光学元件表面的激光清洗技术研 究 [D]. 绵阳 : 中国工程物理研究院硕士论文 .2010， 54-65 [3] 许仁军等 . 激光清洗技术概述 [J]. 光子 科技创新与产业化—长三角光子科技创新论坛暨 2006 年安徽博士科技论坛论文集 .2006,300-303 [4] 路磊 . 全固态 1064nm/532nm 双波长激 光清洗机关键技术的研究 [D]. 长春 : 长春理工大学 硕士论文 .2012，11-14
学元件。 现在光栅的样式非常多， 有些精制的光栅， 要在 1 厘米宽度内刻有几千条乃至上万条刻痕。 光栅对洁净度要求比分划板还要高，任何微 小的灰尘都导致光栅不能正常工作。 二、激光清洗的原理 激光器产生脉冲激光束，脉冲激光的能量被 光学元件表面的污染物吸收，污染物产生热膨胀或 烧蚀汽化，同时光学元件表面热膨胀和作用与微粒 的光压等共同作用下，当作用力的合力大于微粒对 光学元件表面的吸附力时，微粒就会瞬间脱离，进 而达到清洗的目的。 三、常用的激光清洗方法 激光清洗主要有四种方法 : 分别是脉冲激光干 洗法、激光 液膜方法、激光 惰性气体的方法 和综合方法。 激光结合液膜清洗法是指先沉积一层液膜于 光学元件有污染物的表面，然后用激光照射有污染 物的表面，进而达到去污的效果；脉冲激光干洗法 是指根据不同的污染物，应用不同强度的脉冲激光 直接照射去污的方法；激光惰性气体法是指在激光 照射的同时， 利用干燥的惰性气体将污物吹离表面， 以避免表面遭到二次污染；综合方法是指运用激光 将污物打散后，再用对清洗件没有腐蚀性化学物质 清洗去污。 前 3 种清洗方法在光学仪器清洗最常用，而 第 4 种方法仅见于石质文物的清洗行业中。 四、激光清洗实验 1、实验装置 激光清洗装置的实验装置如图 1 所示。脉冲 激光器用于发射脉冲激光；旋转台用于安装被清洗 的光栅或分划板，并能控制旋转；显示屏用于显示 清洗效果。
图 1 激光清洗实验装置示意图 2、效果分析 分别采用脉冲激光干洗法、激光结合液膜法
摘要：本文针对目前常规清洗无法完成的分划板和 光栅等精密光学元件的清洗 , 简单介绍了激光清洗 的基本原理和优点，并介绍了常用的四种激光清洗 方法，为激光清洗精密光学元件工艺做技术储备。 关键词：激光；清洗；分划板；光栅 激光技术已经在很多领域得到广泛的应用， 其中激光清洗技术逐渐在清洗行业崭露头角，在很 多行业中开始代替了传统清洗工艺，而现在很多从 事精密光学元件清洗工作的人员，一直沿用着机械 研磨和化学药剂擦拭的方法，对于激光清洗技术不 是很了解。 传统的清洗方法根本不能清除附着在光学零 件表面上的亚微米级的污染物，在清理过程很容易 划伤光学元件，而激光清洗不需要化学药剂，不排 放废液和残渣，很容易清理表面上亚微米级的污染 物，不会对元件造成二次伤害，并且清洁度远远高 于传统的清洗方法。 一、概述 1、激光 激光与普通光都是电磁波，它们都有相同的 传播速度和相同的电磁本性。激光是以受激发发射 为主的辐射，这就叫做“受激辐射的光放大”， 简称J9九游会登录入口首页激光。激光的定性好、单色性好、亮度高和相 干性好等特点。激光由激光器产生。 2、 激光清洗 激光清洗技术是利用激光处理待清洗物体， 在激光脉冲作用下使污染物从物体表面脱离。由于 激光清洗可通过调整激光波长、脉宽、作用时间和 作用方式等来适应不同污染物和不同基底的清洗要 求，因此，广泛适用于各种清洗对象，并常用于一 些特殊功能的清洗，解决常规清洗所不能解决的问 题，不会造成二次污染，并且运行成本低。 3、分划板 分划板一般安装在望远镜的右目镜焦平面上， 它是一块极簿的表面刻有分划密位线的薄玻璃，由 于这块薄玻璃理论上讲也参与了成像，延长了物镜 的焦距，会对右目镜的长度有或多或少的影响。由 于望远镜的密封性下降，会导致分划板刻线面上的 刻线凹槽内落上微小的污染物， 严重者会生霉生雾， 分划板的不正常使用， 最终导致望远镜的精度下降， 甚至无法使用。 4、光栅 光栅在很多精密光学仪器起到很重要的作用。 最早的光栅是指有大量等间隔等宽的平行狭缝的光九游会 J9官方网站九游会 J9官方网站
