发表时间：2023-12-31 02:38:43 │ 点击数：
研究半导体芯片背后的纳米级光刻技术必不可少的工具。早期极紫外光产生基本依赖大型电子加速器设施，如同步辐射和自由电子激光器等。近年来，随着极紫外光刻机成功产品化，一系列基于先进激光技术的小型化极紫外光源如：激光等离子体光源、放电等离子体光源和非线性激光光源获得了蓬勃发展，九游会官网 J9平台成为超快电子动力学、高分辨率成像、元素分辨、磁圆二色等研究不可或缺的重要工具，在量子信息、九游会官网 J9平台化学、物理、九游会 J9官方网站材料、环境等各交叉科学领域具有广泛应用，并在先进半导体光刻技术、新能源开发、生物医疗等领域具有国家战略性应用。此外，飞秒和阿秒极紫外激光光源在超快动力学研究领域将催生一系列颠覆性前沿研究方向，涵盖材料、信息、物理、化学、生物等，促进学科深度交叉，突破知识
为提升我国在极紫外光源相关的科学、技术与应用领域的研究水平，促进极紫外光源面向世界科学前沿、国家战略需求、国民经济主战场、信息与人工智能等领域的全面发展，《中国激光》拟于2024年第7期出版“极紫外光源及应用”专题，集中报道极紫外光源在研究和技术应用方面的最新进展和发展动向，促进复合型高素质人才培养和相关学科建设。
通过《中国激光》官网——作者中心——注册——在线投稿——上传稿件（作者留言注明“极紫外光源及应用”专题投稿）。
《中国激光》创刊于1974年，由中国科学院主管、中国科学院上海光学精密机械研究所和中国光学学会主办、中国激光杂志社出版，是全面报道激光技术领域最新研究成果的旗舰级中文学术期刊。2021年改为半月刊，并开始出版“英文长摘要”以提高期刊论文的国际传播力。2021年和2022年分别打造“前沿激光制造”专题刊和“生物医学光子学”专题刊。
《中国激光》目前被EI、ESCI、AJ、九游会 J9官方网站CA、INSPEC、Scopus、CSCD等检索系统收录。多次获得“百强科技期刊”“百种中国杰出学术期刊”“中国精品科技期刊”和“中国最具影响力学术期刊”等称号。2019年入选“中国科技期刊卓越行动计划”。2021年荣获“第五届中国出版政府奖”期刊奖提名奖。2022年入选《光学工程和光学领域高质量科技期刊分级目录》“T1级”。
